SAB层的理解
Salicide中文翻译过来就叫硅化物,其实是比较薄的一层金属和多晶的合金体,其主要目的是在多晶硅或者diffusion表面相对比较薄的一层上面生长出一层(或者是淀积)金属-硅的硅化物,目的是降低多晶上的电阻率。
SAB层用来阻止sailicide的生成,从而得到阻值较高的diffusion或者poly( l) {6 b% @0 A
常用在poly电阻,diffusion电阻,ESD device的 Drain端,提高其电阻和耐压。
学习了
讲的很好,不错,学习了解了!
学习了
嗯,之前一直不了解,那sab反应到工艺上是一层什么材料啊~
和雨傘類似
有傘淋不到雨
有 SAB ㄉ地方
就是沒有 矽化物 ㄉ 地方
菜鸟弱弱问一句:平时经常说的guardring和psub有什么区别?
菜鸟弱弱问一句:平时经常说的guardring和psub有什么区别?
中文 保護圈
有 N 型 和 P 型
psub 是 NMOSbody
也能做成環狀 當 P 型 保護圈
學習了
学习了
6楼正解SAB 一般是反相定义层
有SAB的地方不做Salicide
无SAB的地方做Salicide
xie ie le hao xonf xi a
以前以为这只是一个识别层,现在了解了
这个的确是了,之前只知道金属化的多晶硅阻值低,不知道工艺上怎么实现,谢谢小编答疑。
谢谢答疑!
x谢谢答疑!
谢谢答疑!
学习啦啊
补充一下,在感光像素的photodiode上也会用SAB,应该是防止挡光的,但是电极拉出去的地方千万要空出来不能打SAB
謝謝分享
學習了
正解反型 Dark, 反之为Clear, foundry文件上一般会写明......
学习了,顺便请教一下,某一工艺的标准单元库里,有一类型的poly电阻有sab层,但sab覆盖区域无论是长还是宽都要大于电阻的识别层次,请问这是出于什么考虑?
对于有sab层的poly电阻,如果sab层包含了电阻的识别层(无论长宽都大于识别层),那电阻的长宽怎么算?还有这是出于什么考虑呢?
小编讲得非常好,谢谢
学习了
多谢,正好用到
学习了
学习了!
受益匪浅,都讲得很好
Silicide硅化物, 就是金属与硅形成的化合物
Salicide自对准硅化物,通常是指在形成硅化物之前用其他物质(如二氧化硅)定义好不需与金属反应的区域, 这样在与底材硅反应时这些区域就不会有硅化物(二氧化硅在这个温度下不与金属反应),从而二氧化硅就达到帮助形成"自对准"硅化物的作用.
(转自百度知道)