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Layout中ESD,SAB层次覆盖住I/O的驱动级MOS是否降低其驱动强度?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:






在设计Standard I/O时,为增强ESD特性而添加SAB(Salicide block)及ESD(ESD implant)层,在具体Layout设计中,若将SAB层覆盖住NMOS驱动管栅级(如Layout2),是否会大幅降低其驱动强度?

PS: Schematic为简易driver IO示意图,图中PMOS/NMOS为大尺寸驱动管。
图1中layout是比较常见的画法仅覆盖MOS管drain端,增加drain端电阻,改善ESD特性;
图2layout,与图1相比,SAB层除覆盖drain端外,同时覆盖gate, source端,且两图均满足DRC,LVS.
(本人设计的驱动I/O前后仿真正常,layout如图2;现测试结果显示输出波形上升时间与仿真一致,而下降时间很长,与仿真值相差近10倍,测试频率为10MHz,现怀疑是以上所述问题,还请大家指点)

小白发表一下观点: 图二NMOS gate上覆盖SAB,相当于在栅极加了一个电阻,NMOS管响应时间增加,仿真相差10倍 ,看来去硅化这个电阻影响不小。

感谢回答,从PDK 中电阻模型来看,silicide/un_silicide ploy电阻,其方阻相差20倍左右。
前仿真无法cover住图2中由于SABdrain端引入的电阻,gate端引入电阻。
后仿真与前仿真几乎一致,无明显差异, 且图1与图2 的后仿真结果一致,说明提取寄生参数无法corver 整个版图信息。

yes !

如果SAB只覆盖drain端以及gate的一小部分,会对驱动有影响吗?

如果SAB只覆盖drain端以及gate的一小部分,会对驱动有影响吗?

如果SAB只覆盖drain以及gate的一小部分,这样会对驱动有影响吗?

请问能否简要讲述其中机理:
如果仅仅考虑source端的SAB电阻,其电阻值只有10欧姆左右,不至于对驱动强度有10倍于仿真的区别。
是否是gate端被全部覆盖SAB层而导致的呢?那么其中的机理是什么?
谢谢!

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