在ESD器件中,SCR器件需不需要做SAB?
时间:10-02
整理:3721RD
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看了一下0.18的工艺,明确指出在MOS结构中需要加SAB,但是在SCR结构中需要吗?特别是最普通的SCR结构 请大神们指点一二!感谢
建议到ESD专题下面发帖子,答案或许更专业。
我用的工艺都没用到SAB层
SAB层只是为了增大电阻,用在GGNMOS结构D端也只是为了增大耐压,为了节约成本少一层版,平常有用到GGNMOS都直接通过拉大D端cont到 poly gate 距离,并在D端下直接加一个NW来增大耐压。
SCR结构pad端多了一个NW电阻以及PNP,耐压问题基本没考虑,俺是这样想的
非常感谢!