POLY不能在PPLUS和NPLUS外连接,是工艺上什么情况导致的。
时间:10-02
整理:3721RD
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如图,蓝色多晶硅必须在P注入和N注入内才能走线,为啥。
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其实跟工艺没什么关系吧
那你知道为什么会这样吗,求助。
猜想可能是阻值的问题,如果POLY不掺杂P+或者N+,阻值会大很多倍。
原来这样,一想好像真的是。而且40nm工艺中,应该是严格要求寄生电阻,工艺越精细要求越高,0.5um的就没这要求。
4楼说的对 一般都是为了减小方阻
poly的方阻确实大很多啊 所以一般都不会用poly去连线
在较大工艺节点的时候,版图不需要用N+、P+注入那是因为以前的工艺poly都是npoly工艺,也就是实际工艺上成膜之前的材料已经完成掺杂。
在较小工艺节点,版图必须要用N+/P+覆盖,是因为先进工艺的poly生长是本征poly成膜,必须要在后面完成掺杂。
不做掺杂的poly是不能用来走线的,因为本征导体的电阻是电路所无法接受的。