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rpoly电阻、埋层和外延的问题?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
大家好,本人是新人,刚接触BCD工艺(5v/40v、24v/40v),读文档时对下面几点不是很理解,请高手解答下,谢谢!
1、这个工艺是在PSUB上面普打的PBL,然后通过注入将PBL反型成NBL、在NBL上面是Nepi,我想知道的是在PBL上面也是Nepi吗,也就是说整个埋层上面都是Nepi吗?
2、rpoly电阻是做在field oxide上面的,跟下面的sub应该没什么关系,怎么我看到PCELL中有个电阻下面包了一层PP,还有个只有contact下面包了PP,这是为什么呢?
3、接上2问题,既然rpoly电阻是做在field oxide上面的,那在下面也就不需要再做隔离环了,如果设计人员要求做隔离,那我应该怎么做呢?因为是Nepi,是不是在电阻下面做个Pwell,再在里面做一个接地的隔离呢?还是在Nepi里面做NP接高电位,这样不好吧。

怎么没人回答?小编呢?

1、外延是在wafer上整体长出来的,所以不管下面是P埋层还是N埋层还是P/N都有,同一片wafer,外延只能是一种类型;
2、poly也是可以掺杂的,poly电阻的方阻大小可以通过掺杂浓度的大小来调整,掺杂浓度大则方阻小,掺杂浓度小则方阻大。poly电阻整个被PP包围,那是整个掺杂浓的P型杂质,方阻就比较小,通常最多几十欧姆,只有电阻头被PP包围,那是电阻头掺杂浓的P型杂质(降低电阻头的电阻),电阻体没有PP,不代表工艺上没有掺杂,可能只是掺杂浓度比较小,方阻就比较大,可能是几百欧姆至几十千欧姆;
3、按我的理解,poly电阻不需要隔离

楼上的是工艺大牛哟学习~

3ks,那我想让rpoly电阻下面安静点,该怎样做呢?(Nepi)

学习。

学习中,谢谢!

学习了

既然是BCD工艺,那重要的电阻可以做在高压N阱里面再用高压P阱隔离吧?这样就把N隔离出来了

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