电阻的宽度与工艺规则最小电阻宽度比例
时间:10-02
整理:3721RD
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要改一个电阻阵列,因为之前的电阻阵列中电阻宽度是工艺规则中电阻的最小宽度,但是在后仿真中,结果不是很好,想知道应该改到几倍的最小宽度,有经验的前辈们可否指点
不好说,和工艺的具体情况有关系。
以我自己的经验来看,电阻在进行后仿真时都差不多是按20%的误差进行计算的,如果我想减小工艺误差,可以通过增加电阻的宽度,但是又不能让电阻阵列占用太大的面积,如果是1.5倍的最小电阻宽度,可以达到我的目的么?我用的是RPOLY电阻
高手指点一下啊!很急的!
常用的一半是最小的两倍吧!看需要了要求精确就宽点,没什么要求就随便
你的工艺文件中有个modelApplication文件,介绍了高精度电阻的W取值的!
多谢指点啊!
一般都会有mismath report,在这里面有详细的对比。