高阻poly电阻上,覆盖metal有何作用

保护体区方块电阻值的准确。

这要是避免氢化工艺 退火的影响吧。

防止电荷分散 改变高值电阻阻值

为了将poly上面的一部分电子分散到metal上面，防止"天线效应"(antenna effect).

为了使电阻更加匹配，也能屏蔽噪声吧！

什么是氢化工艺?哪一个步骤会用到这个工艺，作用是什么?谢谢

“天线效应”在刻蚀金属时候才发生的吧?

这个是做屏蔽层的，你可以在上面“肆无忌惮”的走二铝三铝了

学习了

我也觉得是屏蔽用的。防止受到电阻上方走线的影响。

电阻上面有金属刻蚀的时候不是会氢化的啊?

目前各家fab说法没有统一，UMC和CSMC给出的说法是前面提到的氢化，但不是发生在退火过程中，而是alloy合金的过程中。

学习了

GOOD！

能否详细讲讲氢化的工艺步骤? 非常感谢

这个问题我解答不了，给我介绍的人讲解时涉及到器件物理里的能带和能级理论，并且强调说这个他们的推论。

主要是屏蔽

学习了,很重要.

看看<<模拟版图艺术>>这本书哈

具体见《模拟电路版图的艺术》第二版张为译，P137， P246，高阻上的金属主要做屏蔽和电阻电压调制。减小电容与电阻间的耦合，可对电阻上走线起到屏蔽作用