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请问裸芯片邦定到PCB上或封装引线框架上 背面是否要接地

时间:12-12 整理:3721RD 点击:

学联系在一起,比较常用的就是钛。银同学表面还是会氧化的,所以在高质量的 back metalization 还要在银同学表面在镀一层很薄的金, 然后在钛和银之间再加一层barrier layer, 一般用金属里面比较致密的镍。所以硅片back metalization recipe 一般是TiNiAg 或者 TiNiAgAu
Cure 是所有epoxy 固化必须的步骤,不同的epoxy 有不同的 Cure 条件,你要根据你的 epoxy 的厂家说明去做。

cure就是上芯之后的烘烤,不管什么胶封装厂都会做的
我们以前实验的时候确实不导电,我还得查查封装厂到底哪儿没搞对

这个不是很明白,见过的一般薄型封装如QFN,TSSOP也就减薄到180mil,差不多还是有4.5mm 厚,这个厚度应该离epi层,和注入层很远,参杂浓度难道不是sub本身的浓度吗?

这两天反复理了一下jvc的思路,又问了问TSMC, 我觉得是这样的:
1. wafer分为两种,epi wafer和non-epi wafer ,后者应该就是jvc所说的bulk wafer
2. epi wafer是在重掺杂的衬底上长一层轻掺杂的epi层,他导电是因为重掺杂衬底与导电胶的银元素形成欧姆接触。
3. non-epi wafer的衬底本身就是轻掺杂的,所以他与导电胶无法形成欧姆接触
4. 所以jvc讲的epi wafer才能导电,并不是因为多了epi层就能导电了,而是多了epi层导致衬底的掺杂不一样了
4. 我查了一下,之前做实验用的wafer是non-epi wafer,所以导电胶是对的,也没有导电
5. 最后回答weiqi的问题,为啥你也没试出来导电胶和非导电胶的区别,因为你也用的non-epi wafer。今天问了T,他们8寸片绝大多数就是non-epi工艺的,12寸绝大多数都是epi工艺的。除非你单独跟他们提要求。

有点怀疑啊,银浆这么容易形成欧姆接触啊...平时工艺里做个欧姆接触还得做半天....
在 PrimeTime (static timing analysis) 的大作中提到: 】
: 这两天反复理了一下jvc的思路,又问了问TSMC, 我觉得是这样的:
: 1. wafer分为两种,epi wafer和non-epi wafer ,后者应该就是jvc所说的bulk wafer
: 2. epi wafer是在重掺杂的衬底上长一层轻掺杂的epi层,他导电是因为重掺杂衬底与导电胶的银元素形成欧姆接触。
: ...................

要烘烤的,导电胶的datasheet都有写需要怎么烤,怎么样的一个温度曲线

赞。
另外的一个问题就是现在做downbond,给基岛一个明确的地电位,大家这样做的多吗?
接触过的都是leadframe本身一个pin和整个基岛连在一起的,可以直接打基岛。有时候这个pin是VDD,还要专门强调要用绝缘胶

用不着啊,这个基岛就是个大pad,pcb上连到gnd上就ok了

受教了,正好最近我们也要做个COB的片子,爬完这个楼长了不少知识。

看到m才注意到这个帖子,这个版上果然没有做工艺的了……
重掺是硅材料做欧姆接触的基本条件,硅材料做欧姆接触是要做退火的。这是半导体工艺的基本常识,书上就有的。
至于所谓的epi wafer,都是用重掺做衬底的,这个国内已经做的很多了。non-epi wafer这个提法用的比较少,一般P<100>,8~12Ωcm的8寸wafer,直接叫prime wafer比较多。
prime wafer不是说不能做欧姆接触,背面做一次扩散(注入)再退火就可以了,但是一方面器件做好了不能再高温,另一方面prime wafer都是单抛的,而且很多做了背封的,没办法做工艺了。
JVC的说法有一部分是对的。但实际上硅和金是可以形成欧姆接触的,Au和Si是有共晶相的,金硅合金本身是可以作为过渡层实现欧姆接触的。古老的背金工艺,就是这个原理。Au和Si的共晶温度是370度,和IC工艺是兼容的,甚至是不需要高掺杂就可以形成欧姆接触的。这个工艺的缺点是需要比较厚的金,或者是两次镀金的工艺,因为温度升高的话,金会迅速向硅扩散,工艺控制不好,会吃掉大量的金。封装领域也不是不用这个工艺,大功率的单管器件用这个还是很多的,只是IC的封装厂我没见过有谁用,估计还是兼容性的问题,金不是哪里都好做的。
欧姆接触和wafer的类型都是半导体工艺的最基本知识
IC design版,再见

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