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请教一下:CMOS工艺做电感

时间:12-12 整理:3721RD 点击:
电感会跟衬底耦合,那是不是说在其他工艺中,如果衬底材料不导电了
对电感性能更好呢?不考虑其他因素,只考虑衬底 谢谢

我看了 smic下边电感 也没看出来有啥特殊处理啊

涡流效应带来沉底损耗。好像除了用高阻衬底,或者PN结切断涡流效应(实现难度较大),没有太好的办法。
感值多大?Q值?工作频段?

电感下面会有NTN层,其方块电阻值比psub衬底还要高,能够提高Q值。不过即便如此,
也有疯狂的人异想天开到想在电感下面放电路,不知道这方面学术界有什么成果了没?
但提高Q值最粗暴的办法还是用超厚层金属,简单直接。

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