大家知不知道一般CMOS工艺单位面积的散热水平是多少？

现在设计的是CMOS的功率器件，不知道一般情况下，他的散热水平是多少，比如mW/um2什么的？给的PDK文档太长，找了一下也没有发现，有谁知道的，请给个大概的情况，谢谢。

和衬底厚度相关吧
估计减薄到80~100um会好不少。

foundry本身不会测这个的，你查查Si的热导率吧，估计一下。

可以自己大概算一下：
Delta=P*d/(C*A)
Delta是电路工作时相对于环境温度的增量；
P是电路功耗；
d是衬底厚度；
C是衬底温度系数（W/cm*k）
A是电路面积
出处是一个讲PA设计的博士论文，现在找不到原文了
在笔记中找到的