在版图设计中为避免天线效应采用向上跳线法,本层积累的电荷不就会把栅氧击穿了吗?
时间:10-02
整理:3721RD
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在版图设计中,向上跳线法用的较多,此法的原理是:考虑当前金属层对栅极的天线效应时,上一层金属还不存在,通过跳线,减小存在天线效应的导体面积来消除天线效应。在版图设计中为避免天线效应采用向上跳线法,向上跳线时上层的金属还不存在,那本层积累的电荷不就会把栅氧击穿了吗,那向上跳线还有什么用呢?求求哪位大神指导啊,小弟确实是没想明白啊。
可以看看这个贴子:http://bbs.eetop.cn/viewthread.p ... p;page=1#pid8449966
你先要搞清楚什么时候才会产生天线效应,是本层金属大于一定长度才会累计电荷到击穿的效果,如果你跳完线本层金属还是很长,天线效应还是会报错的,本层金属长度要小于某个值,这种积累不足以击穿栅氧就可以了。所以只要你选择合适的位置跳线就可以了。
做一层,会用去离子水洗的。所以在做上一层的时候,本层的积累已经没了。
同意樓上的說法
本层有天线效应的金属蚀刻的时候电荷积累很多了,还没有去离子水洗之前就发生击穿了呢?
同意3楼
所以才会控制每层metal与gate的的面积比呀...