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求教 天线效应中的疑惑!

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
今天看天线效应是,看到这么一句话:“如果metal接到diffusion时,极少会产生静电破坏,因为diffusion可以卸掉静电,所以top metal一般不用考虑天线效应的问题(基本上每条top metal都会接到diffusion上)”



请问:为什么说:基本上每条top metal都会接到diffusion上。 完全想不明白,顶层金属为什么就要连接到扩散区啊?说底层还可以接受。

制造时候一层层做的,在底层金属制造时候可能断开,没有联接到OD。制造顶层时候一定会通过via连接到OD,这是一个顺序过程。

哦,明白了,恍然大悟啊,谢谢!

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光然大悟,不过天线效应是只考虑栅极不考虑漏极的

这里我有个疑问,只能说一般情况下,top metal是不会有天线效应的,但是不能绝对的说,top metal层全部是连接到active层的。比如,有时候,你只有2层metal ,top metal连接的时候很多地方是不会连接到active的,有时候是gate与gate之间要连接的!

学习了。

我还是没搞懂,请问能详细解释下吗?OD层是什么?

有源区接衬底,电流可以由此传到到衬底;gate与衬底绝缘,电流无处可去。

我的理解,最终还是会接到active的,除非是gate悬空。而且天线是每层时聚集,比如刻蚀metal1时,满足规则,不会antenna,那到metal2(你举的例子是top metal)时,只要gate不悬空,肯定是能接到active的。我目前做的工艺确实比较奇怪,top metal只要直接接gate或mim时,都必须接diode,否则antenna就有错。top metal在rule中面积比是0.




我说的情况就是top metal直接接到gate,也就是两个gate之间直接用top metal连接,所以还是存在这个情况的!这种情况下,top metal
是不会接到active,如果top metal比较长比较大,就会存在天线危险,当然这种情况毕竟不是很多。一般情况top metal 是最终接到active的。只是版图的时候,要留意下!有的时候,工艺中会特别说明,不管怎么样还是按照工艺情况,或者直接与fab厂沟通!

gate悬空吗,最终不接输入?若不是悬空,应该都会接到active,一般gate不建议悬空的。

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