ASMC工艺中,有一种BCD的工艺,其中metal层有选择
时间:10-02
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ASMC工艺中,有一种BCD的工艺,其中metal层有选择,2层(M1、MET)或者3层(M1、M2、MET),2层(M1与MET通过VA1相连)或者3层(M1与M2通过VA1相连,M2与MET通过VA2相连),我就是想知道,在参加MPW的时候,如果其他家用3层Metal,而只有我们家用2层的,这是怎么实现的?还是分开跑的,不是做在一块版上的?如果做在一张版上的话,是怎么做的?
做在同一块版上,但是分开跑。
管她怎么跑,你pad跳到metal3开窗就行咯
楼上说得好有道理
这样2种东西能做在一个圆片上?
我就是不知道fab厂是怎么做的,所以想请教大家,MPW的时候,怎么实现
同一块晶元上可以做不同flow吗?
你好,我最近也遇到相似问题,我们的metal层数少于别家的,我们5层metal,别家8层。这牵涉到一个top metal 厚度的问题,和顶层metal到次顶层 metal 的 via 深度的问题,这是我的困惑,能帮我解答下吗?