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BCD製程,高壓下CHIP漏電的原因?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
想請問各位先進,小弟前陣子TAPE OUT了一個BCD高壓製程下的CHIP
回來後說是有一些漏電的情形,想請問有這方面經驗的大大們
除去DESIGN端跟製程端的因素的話
LAYOUT端有什麼情形可能造成漏電呢?

design缺陷可能性比较大。当然不排除版图原因,版图的寄生结构可能会引起漏电,如latch up或者寄生二极管等。

漏电的原因太多了先还是看测试的情况,针对情况进行分析
在BCD process中版图中最常见的就是寄生bipolar以及寄生mos,看看走线的电压会不会产生pleak或者pleak,一般说起很容易,但是要你去找出来,确实一件很难的事情。
最近遇到一个项目也是这个问题,唉,慢慢分析吧

建议通过FA的手段定位leakage存在的位置,然后再结合layout和schematic进行分析,HV process中遇到漏电的问题是很正常的,但是分析起来也是比较长经验的

一般成熟的制程,主要layout验证通过,漏电design的原因多些,不过也不能排除layout方面,特别是高压,布局不好容易造成寄生管开启,场开启之类的

首先感謝各位大大地回覆,這邊還有一些疑問以及近況的更新;
TO koto135大,您指的pleak是什麼呢?
TO jian1712大,您指的FA手段是指失效分析嗎? 此程序是否為外包較多呢?
目前已大部排除DESIGN端問題,因為good die裡面function其實大致是有work的,但有一個起始訊號雜訊過大,造成另外幾個訊號也似乎有問題,目前往重新檢視ERC的方向前進,一邊看是不是command file也有不盡完善的地方。
下一步預計往寄生元件檢查,這也是最繁雜的地方了。
總之希望能夠成功debug

对的,是失效分析,如用EMMI或LC进行定位,然后再结合layout进行分析
http://www.isti.com.tw
http://www.ma-tek.com/gb/

pleak就是寄生的pmos,也就是我们说的场开启。这种情况很常见,特别是对刚接触高压工艺的tx。还有一种是nleak,我当时打错了,不好意思,原理同pleak

感謝 dabing大與 jian1712的分享
雖然現在還在五里茫霧中, 但是相信未來會更好的.

这个一般是公司的FA部门来处理吧--!

大公司也許是,
不過我們小公司只能自己的RD去跟外包商 COWORK

看版图
电源线和底线走过的地方是否有场馆开启

xuexixuexi

查一下HV区内的stand alone OD是不是面积太小了。

七楼提的EMMI不错.我们公司一般都用这种办法定位漏电区域的.

1. design 上漏
2. parastic device ..特別是有有是 P-N junction bjt 漏 或電阻
3. layout 上有 contact, via 和一些 rule 不對 或有 overlap
導致 process 做時 漏
以前 metal 間 spacer如 process不夠好 有些會輕輕相連
照 obrich
emi 一般是看 junction 類 漏電的 ..
4. process 上 , gate oxide 不良 .. device 不良

你们说得FA部门主要负责做什么工作,我们公司貌似没有这样的部门。

先检查下仿真有漏电吗?

长见识了

還有一類是 seal ring
一般 seal ring都會 違法rule
有些 layout會run 下面最後套上 seal ring
沒弄就 leakage 了..

pleak/nleak方面的中文资料比较难找,哪位大侠贴个图解释一下?

還有一類漏電是高壓
因為 Field-oxide device MOS 也是會因高壓TURN ON

有没有讲这方面的资料,共享一下,谢谢!

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