求解:ASMC 15VNMOS做NDD区域的作用
时间:10-02
整理:3721RD
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如题,为什么Pmos不用做特定区域,还有为什么低压的mos不用做channel stopper?
新手,求各位大侠能详细解答,不胜感激!
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1,关于NDD
NDD是N type drift drain, 是N型漂移区, 这一层在这个工艺中做在HV device上面,它是用来增大NMOS drain端的耐压,所以浓度比N+要低,结深比N+深, breakdown电压比N+高
2,不知道你所指的Pmos是HV还是LV,但是HV pmos应该会做一些特殊处理的
3,个人感觉channel stopper implant有改变Vt和增强防punchthrough的作用,所以低压mos没有做,也不是很奇怪,因为自然形成的mos能够满足spec要求,加了channel stopper有可能让低压mos的参数变差
拙见而已,欢迎指正。
二楼讲得很有道理
佩服
2楼好强
顺便补充一点:相同掺杂PMOS要比NMOS耐压。另外由于PMOS掺杂只能用硼,所以PMOS没有LDD这个步骤。
LDD,轻掺杂漏极,降低了电导率,减小沟道漏电~
upload PDK if you have and other PDK of 1um 0.8um .... I looking