MIM电容的antenna_mim通不过DRC问题

我在做DRC检查时候看到antenna_mim这个rule
它的意思好像是说mim的CBM和CTM要么同时悬空，要么同时接OD，这样是OK的
其余情况都是unbalance的，其余情况包括：
只有一边接到OD，另一边悬空
只有一边接栅极，另一边悬空
两边同时接栅极
不知道我的理解有没有问题。但很多时候不是会用mim电容来隔直吗，后面紧接着就是MOS的栅极了
这样好像过不了antenna_mim，请问怎么办呢?
走线跳层吗，怎么跳?（M8先跳M9然后再跳回M8?）

可以接一个到衬底的二极管。

隔直电容，从前一级的漏，接后一级的删，前一级接了（MOS沉底二极管），一般不会报。你的MIM电容太大，前一级管子和栅级太小，一般几百倍呢，你设计的确实比例太大了。
推荐你换成MOS电容+MIM电容一起用。这样就不会有了。

有没有一些不需要引入新元件的办法呢，谢谢。

或者用MOM电容也OK吧?我想换成MOM电容

亲，你说的这些我记得和tsmc的文档说的是一样的，那份文档上已经告诉你咋跳线了，如果你也是t家的工艺你去找找看。

MOM+MOS性价比最高。我们一般都这样干。比如decap之类的。只用MOM也可以。看个人习惯。

谢谢你的经验

跳到高层再跳下去tsmc MIM的unbalance 我们都是这么处理 不用加diode

M8先跳到M9再跳回M8对吧，谢谢。

请问tsmcmom和mos一起用要加什么层次啊