关于P+注入包围有源区的问题讨论
时间:10-02
整理:3721RD
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在N阱中包围着P+注入,P+注入包围着有源区。在版图中,P+注入、N+注入是为了区分注入的导电类型。那在工艺中,P+注入这一在版图中的显示会制作成掩膜板吗?如果做的话,它在工艺中起什么作用呢?
请各位大侠,指导指导啊!
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给你推荐两本书 版图的艺术半导体制造技术你看看就知道了
你不注入哪里来离子
我也是新手,这个东西看看半导体工艺基础立马明了的
当然有了
从mask来说, SP , SN 是分开的 2层mask,
比如smic的 198和 197(好像是,不记得了)
而且nwell和 pwell(通常是not nwell)也是有mask的 ,
high voltage nwell和 high voltage pwell也是,
当然有掩模板啊。
如果没有这些注入,怎么形成不同的器件呢?读书才是王道,模拟电路版图的艺术好像还是一本不错的书。
当然有掩模板啊。
如果没有这些注入,怎么形成不同的器件呢?读书才是王道,模拟电路版图的艺术好像还是一本不错的书。
一般会做成mask
学习了!
离子注入需要掩膜板,因为要在选定的区域注入
学习了!
你可以看看designrule 里面每一层的作用都有的,
感谢分享