问个关于沟道终止注入的问题
时间:10-02
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这步注入到底是在什么时候做的?用的哪次光刻版?与s/d注入时形成的guardring到底有什么区别?看了很多资料,越看越糊涂了,求解释啊,谢谢!
ACTV之后吧
看工艺书,现在工艺可以用扩散也可以用离子注入,所以,不好判断
在active掩膜之后做硼沟道终止注入(注入到了除active以外的部分),然后用再次使用NWELL的掩膜版进行磷沟道终止注入(注入到了NWELL里面除active的部分)。guarding是做在active区域内的