沟道上走线
时间:10-02
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请问在沟道上走met1会带来什么影响?
因为在金属线的工艺后期处理中(高温溅射、刻蚀、退火等)会影
响这些器件的性能。
请问具体是会影响器件的什么性能?
另外poly电阻上走线会带来什么影响?
没看懂,个人认为没关系
沟道上走M1的坏处是:因为M1离poly层很近,所以很可能会导致这个管子开启,管子开启的过程就是通过电压来控制的。POLY电阻如果需要匹配的话走线会影响匹配度