在mos电容的沟道区域打via会有什么影响
时间:10-02
整理:3721RD
点击:
在mos电容的沟道区域打via会有什么影响,
你是指gate上面吧?既然是做电容用的,不需要很高的匹配以及性能,所以在上面打via是没有问题的
drc过不了
小编说的是via ,不是conta,所以在多数工艺下是可以的,没有影响
栅氧很薄,如果打在沟道上很可能打穿了,会导致栅和衬底导通。使其器件永久失效!所以工艺厂都不会要求在沟道上打孔的。
你说的是contact吧,我们公司都经常在电容上跳线,打via会损坏管?
应该不会有什么影响。
电容上应该影响不大
打via孔是可以的
没有问题,随便整
我来看看
学习知识
via1尽量不要打在沟道上面,别的VIA无所谓。
无所谓