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sentaurus sprocess仿真 关于氢氦注入的问题求助

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
各位大侠好,我在做sentaurus sprocess仿真 时想在硅里注入氢,但是出现一下错误:"no implant table file for species hydrogen in material silicon"请哪位大侠帮忙解答一下该怎么解决这个问题?
非常感谢!

这个应该和材料库中有关系,可以掺杂的材料你可以参考SDE里面的内容,如果想掺杂H的话,就需要另外定义。

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