为什么smic65nm和55nm的工艺中只有mom电容没有mim电容？

为什么smic65nm和55nm的工艺中只有mom电容没有mim电容呢?0.13um的工艺中mim电容和mom电容都有。mim电容应该就是在TM和TM-1之间加上一层insulator吧，这个在65nm和55nm的工艺中实现很难吗?

顺便问一下mim电容和mom电容哪种的精度和匹配性要好一些?

0.13 um 以下制成都没有MIMCAP.

为啥呢?制作mimcap成本较高吗?还是mimcap比momcap精度或者是匹配性好些?

为啥呢?
施主 這恐怕要問 晶圓代工廠了

阿弥陀佛

因为mim制作复杂

要多一层mask（ MIM ）啊， 看analog工艺一般都提供的， 多加点钱，
mom 又不需要多加mask，只是金属叠加而已，

首先要明白，MOM电容主要是利用同层Metal之间的侧面电容值的
所以当工艺特征尺寸变小至0.13um以下，则侧面电容比平板电容更显著，
将MOM的Metal做成螺旋环状，可充分利用面积；
而且MOM比MIM少一层Mask，节省了成本。

THANK YOU

学习了。