多晶电阻上面走金属一,会对电阻值有影响吗?
普通注入电阻影响应该不大,若是电路要求精确匹配的电阻,不管什么类型,最好都不要走线,还有就是高值多晶电阻,这个工艺上都会有一层金属1做保护层,你没法走金属1了。
根据公司的流片经验,貌似这样poly上走金属,阻值会偏大变大原因不明白!
谢谢楼上!
在制作金属时的的溅射、刻蚀、退火等工艺,以及在芯片工作中金属上信号的变化(尤其是clock等信号),会对在金属下面的电阻产生影响。
至于,影响的大小,可以从简单的角度考虑:
金属里的电阻越近影响越大。在芯片剖面上,从下往上一般是有源区、多晶、金属0、金属1。,所以金属0就对多晶的影响大于多有源区的影响。
如果金属不得不从电阻上经过,也尽量选的离电阻远的金属;或者尽量让工作中比较安静的金属信号从电阻上走过。
lixiaojun707
poly是 feol,metal 是beol
制作metal时候 ploy 已经完成,而且metal 制程也不需要implant,退火 等,
只是现在的先进工艺中的device对 stress 比较敏感,但是具体有多大影响,谁都不知道
信号干扰是另一个问题,但实际上关系不大,poly和metal 之间有多大连线寄生啊
其实couple不到电阻上的,只是大家心理作用
feol,beol是什么意思?
feol= front end of line 前道制程,形成器件
beol=back end of line 后道制程,形成互联
一般以contact为分界
前道制程主要是离子注入,氧化,扩散,外延,退火,CMP,气相沉积,刻蚀等,有些需要高温处理,时间也较长
后道工序主要是金属互联,钝化层,pad open,polymide等,主要就是CMP,气象沉积,刻蚀了,温度都比较低
非常感谢你的回复,看来我需要大补工艺的知识了,呵呵!
多和你请教学习。
在你的回复中有两个不明白的地方,pad open,polymide是什么,它们起什么作用?
谢谢
lixiaojun707
pad open就是pad的位置需要打开,让AL或RDL层露出来,可以做bonding
polyimide不是每个芯片都有的,也是类似于passivation,用来保护芯片的
据说是黏糊糊的一层东西,没有摸过,也不知道
大牛,你们要多来指点大家,谢谢
对于精确匹配的电阻,最好还是不要走电阻线,本身的连线最好也少走,氢化作用会使电阻值有偏差。
如果是注入电阻的话,特别是低注入,在上面走金属线,会影响电阻里面的载流子分布,会对电阻值产生很大的影响。但是你说的是poly电阻,这个考虑基本上师可以忽略的,但是要考虑到氢化作用对其影响。详情参考《模拟版图艺术》第五章电阻
来看看。
學習了
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