65nm工艺的L为60nm？为什么不是65啊
时间：10-02
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rt。但是.18的为什么L=180nm。
估计要shrink 0.9倍的
特征尺寸的事跟工艺设计、制备相关
同意樓上的說法
多少 nm 只是 一種製程 時代的說法
最小能做多小 還是看實際情形