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关于layout最小格点的疑问

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
关于layout最小格点的疑问,如下:
1. layout 中为什么要设置最小格点?
2. 不同工艺层(layer)的最小格点是否有区别,为什么?
3. 最小格点的设置与工艺的特征尺寸(如130nm、90nm、65nm等)是否相关,为什么?
希望哪位大侠给予回答,不胜感激!

lixiaojun707

最小格点的设置与生产时的设备有关,小于厂家的最小格点,会出现图形没连上的可能

不同的工艺都有自己的最小格点,如果小于最小格点那么在制版的时候,不在格点的线可能出现一些小的锯齿状图形。如果大于格点,有可能不能满足设计的最小规则。

同一工艺的不同layer,最小格点都是一样的。
工艺制程越小,对应的最小格点也会越小。

设计规则中的最小格点,主要是根据该工艺的光刻机的最小光刻尺度所设定的,如果低于这个格点,就有可能在后续的光刻中出现误差,导致性能受到影响,但也不是一定的。
所以,同一个工艺的最小格点每个层次都是一样的

也来看看

基本同意5楼。

其实你问的三个问题根本就是一个问题而已,你知道,不同的工艺说明他们的做工精度不同,工艺越小精度越高,那么他就可以使用更小的格点来画layout。格点是你在layout的时候去取的,打个比方,我们在使用0.18工艺的时候往往取0.01的格点,按照工艺精度,精度可以达到98%,如果你采用了0.05的格点精度可能就是百分之百了,但是工艺其实就不是0.18这样的高精度工艺了,;如果你采用了0.005的格点,精确度可能就是70%或更低,返回给工厂出现锯齿边缘等等。大概意思理解就好了。

计算机虚拟绘图应该与我们平时在纸上绘图相同,前提是,虚拟绘图环境要能够模仿真实的环境:
1. 首先需要虚拟的绘图纸,这张纸是用一个数据库来完成的,用二进制数在最底层来描述这张纸;然后,你要知道,你能用使用多少个数字;
2. 然后,通过在软件中进行设定,再把这些“二进制数”与真实世界的几何尺寸相互对应,结果有两个,一个是“虚拟纸通过定义最小的尺寸单位,确定了这张纸能够绘制的极限精度”,另一个是“通过与真实物理世界的几何尺寸对应,确定了这张纸到底有多大”(要知道,不管计算机的性能如何,你都不能无限大的画图)
完成上面的工作之后,一张可以供我们使用的虚拟纸就制作出来了。

回答问题:
* 问题1和2涉及到的是,如何在计算机中绘图……
通过虚拟纸的定义,可以知道,虚拟纸张和真实的纸张有个非常大的差别:真实的纸是连续的,而虚拟的纸是不连续,二者的差别类似模拟信号和数字信号的差别!
那么,如何用离散的有限的点来表示连续的平面呢?工程上有个概念叫做精度,也正是用这个概念来解决。同时也要知道,曲线在虚拟纸上都是用多边形近似的!
所以计算机画layout时,还需要第二次定义最小的尺寸。这个尺寸一定要大于“虚拟纸通过定义最小的尺寸单位,确定了这张纸能够绘制的极限精度”。
至于“不同工艺层(layer)的最小格点是否有区别,为什么?”这个问题,可以从“这些工艺层有没有特殊的需求的来看”,要画好版图还需要了解一定的底层制造的知识。因此这个问题,具体情况具体分析。

*问题3,“最小格点的设置与工艺的特征尺寸(如130nm、90nm、65nm等)是否相关,为什么?”说的是draw layout和make mask之间的关系。
画layout时在一个纯数字的环境下完成的,最终还是通过计算机把layout用数字的方法来制造出来,相关性显而易见,不多解释,想你也思考很久了,我这里抛砖就够了
之所以出现这个问题,就在于,我们看到的自然世界是连续的,而计算机cad时,却要在一个虚拟的不连续的环境中完成。
我也再请你思考一个问题,对于工艺的特征尺寸(如130nm、90nm、65nm等)来讲,机器的加工的极限精度是否就是130nm、90nm、65nm等?

这个回复够深入

ooooo

闲着也是闲着,如果我的回复对你有帮助,我就没有白写那么多字

开始用0.005的格点画好版图后,可以通过设置吧格点自动变成0.01吗?求解~谢谢

同问啊!求高人指点!

我在U28下查询不同Layer的Grid Size是不一样的,比如DNW为0.005但是DIFF和TG的Grid Size是0.001

0.18工艺的格点是0.05?不是0.005吗?

0.01

There are two type of grid points,
Manufacturing grid
Routing grid.
Manufacturing grid gives the minimum points the the layer vertex can have or in other way manufacturing resolution.
Routing grid very much depends on layout type and application of the circuit. it can vary depend on the final chip.

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