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IC51 修改格点到0.5nm

时间:10-02 整理:3721RD 点击:

IC51 需要做0.5nm grid的设置,修改tf文件的
mfgresolution=0.0005 没有用。
请大家帮忙看看IC51还需要改个什么设置吗?

试试设置“Display Options”(快捷键“e”)里边的“Grid Controls”。

谢谢答复。
我尝试设置后自动跳回1nm格点。整个layout view 窗口都没有办法有0.5nm。

techParams(
;( parametervalue)
;( ---------------)
( maskGrid0.005 )
default 最小值 是 1 nm
把 tf file 裡 Grid 或是 grid 的設定都改成 0.5 nm
再重新 建 library 試試

点e然后在右边的Grid Controls 下面的XSnap YSnap 都设置成你需要的最小格点 然后最下面的Cellview libraryTechlibraryFile 根据需要逐个保存!

添加了 maskGrid 0.0005
依然没有用。
问了IC61,tf文件里面有一部分viewTypeUnits设置。这个在IC51里如何设置?
谢谢!

会自动修改到1nm,不认0.5nm。

tf 里那个是工艺格点跟XY snap spacing 鼠标移动格点不要弄混。

xy snapspacingPdk libinit.il 好点的会设置 snap spacing 数值。 跟.env 设置一样。

0.0005 ? 你在开玩笑吗 ?


你确定是0.5nm?不是你单位搞错了?你这也太小了

数据适应opc格点,需要达到这个。另外14nm或者7nm工艺应该开始也需要更小的grid了吧。

是的,没有搞错。就是要到达和opc后格点一致。0.5nm。

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