哪种电容的mismatch最好

MOM，MIM，PIP？网上有人说
MOM电容 98.9fF   35.6um^2      mismatch=0.042%   2.7fF/um^2
MIM电容    220fF   116.6um^2     mismatch=0.068%  1.88fF/um^2
这是哪家的工艺啊。TSMC？
我看smic要做到0.05%的话要1pF左右的电容

一般mim电容为1um^2=1fF吧
PIP电容的匹配性更差吧
一般要求高都用mim,
mos电容的线性度不好