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求教N-depletion MOS电容版图

时间:12-11 整理:3721RD 点击:
这种电容是如同耗尽NMOS那样画就可以么?
看手册上说需要自己画一层MASK,但这层MASK没有标识是Design rule里的哪一层,而D
esign rule里有一层定义Rom code和capacitor implant的,但规则和那层的定义不一样
请教:工艺上MOS电容是怎么做的?Rom code是做什么用的?
谢谢

那版图上需要画电容的标识层(CAP mark)么?
但design rule里那个capacitor implant是给什么电容做注入?不是poly-poly的,pce
ll里的poly-poly电容没有rom code层

还是要看具体工艺吧
有些工艺要对depletion NMOS做一次额外的注入,这样的话那层MASK通常是CLEAR的。
也有些工艺就直接拿native NMOS作为depletion NMOS来用,这样的话那层MASK通常是DARK的。
对于电容来说,你当然可以就拿他提供的通常的depletion nmos来做电容,但是有些工艺会提供额外的专门用作电容的depletion nmos,那样的话他肯定得告诉你用哪层MASK吧。

depletion MOS电容的规则是单独的文件说明的,的确要求额外画一层,但尺寸要求和耗
尽注入的一样,而与cap implant和rom code(同一MASK ID——RO)不一样,MASK ID是
N CAP,而design rule里没有这层,
我的问题是:版图上应该是用rom code替代NMOS耗尽层注入?(有源区+cap mark+栅+R
O+contact+金属)还是在N depletion MOS的基础上再画一层cap implant(有源区+cap
mark+N depletion+栅+RO+contact+金属)。
比较菜,不知道表达清楚没?

这个就是varactor吧?我知道tsmc加工varactor不需要额外mask

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