像“.13um,90nm工艺”这样的参数到底指的是什么
时间：12-11
整理：3721RD
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DH85 (爱) 于 (Fri Jan 26 15:24:59 2007) 提到:
看到过各种说法：channel length, gate length, 还有说是“线宽”的，比较迷茫，请达人具体说说到底是哪种？
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appleton (苹果牛) 于 (Sat Jan 27 00:18:40 2007) 提到:
不是channel length, gate length要小一些,channel length要更小,
是最小的加工线宽
其实我觉得也是个有点模糊的概念,因为实际上也不一定用到.13或90nm的half pitch
DH85 (爱) 于 (Fri Jan 26 15:24:59 2007) 提到:
看到过各种说法：channel length, gate length, 还有说是“线宽”的，比较迷茫，请达人具体说说到底是哪种？
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appleton (苹果牛) 于 (Sat Jan 27 00:18:40 2007) 提到:
不是channel length, gate length要小一些,channel length要更小,
是最小的加工线宽
其实我觉得也是个有点模糊的概念,因为实际上也不一定用到.13或90nm的half pitch
刻蚀如何做到，如果用了.09的工艺库可以做45n的mos?