CZ6H+工艺关于DRC问题
时间:10-02
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请问华虹CZ6H+工艺中DRCrunset文件如图中红框内的文件ebslit是做何种检查用的?
![](../imgqa/etop/ichd/ichd-1882235t5gklj2mt.png)
打开rule文件看看呗
打开看里面就是一些layer的width、space的要求,如图1,而对里面文件的描述对于ebslit也就是做DRC检查,如图2
![](../imgqa/etop/ichd/ichd-18824uhn02npipb2.png)
rule的开头都有根据哪个文档写的的描述,你可以读一下那文档,估计就知道rule关心的是那些检查项。
验证时把相关的rule都跑一下,确保安全。
就是没有那个文档,想在此问一下有没有用过这个工艺的大侠,呵呵还是谢谢小编哦!
没有文档就管foundry要