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sealring和core之间需要加dummy layer吗?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:


请问对于s1这部分需要消除layer density error吗?还是保持着部分空白忽略掉density errors?

联电工艺,很少用

不需要

请问你们就是把S.1这部分空着,什么层次也不放,对吗?

如果是空着,会不会影响芯片的平坦性,对芯片造成什么影响?

以前的经验,sealring和core之间会净空,也有用来跑ground metal的,这个ground也就是sealring的电位。

谢谢大家的回答

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