sealring和core之间需要加dummy layer吗?
时间:10-02
整理:3721RD
点击:
请问对于s1这部分需要消除layer density error吗?还是保持着部分空白忽略掉density errors?
联电工艺,很少用
不需要
请问你们就是把S.1这部分空着,什么层次也不放,对吗?
如果是空着,会不会影响芯片的平坦性,对芯片造成什么影响?
以前的经验,sealring和core之间会净空,也有用来跑ground metal的,这个ground也就是sealring的电位。
谢谢大家的回答