双poly的xcalibrate xRC模型建立

最近在工作中遇到一个问题,poly1和poly2(pip)之间的电容(poly2位于poly1的下方),xRC时会提取出一个较大的寄生电容(约有20%),该寄生电容来自于poly1对衬底的本征电容.我猜测是由于xRC模型建立时没有定义poly2层,导致poly2对poly1的本征电容没有屏蔽作用,所以想把poly2的加到xcalibrate的模型中去，望大神指点该怎么建立?2014版的xcalibrate。ps：我想如果lpe文件中加上了poly2，那么poly2对衬底也应该有本征电容，结果还是会有一个较大寄生?希望大神告诉一下poly层的本征电容(intrinsic)真的有这么大吗?

同问 没有人?

用的工艺的xrc文件是加密的吗? 不如不是加密的，打开看看，写法很简单的。

现在牛人就是多。你这样改fab知道吗?fab同意吗?fab给你保证吗?