TSMC metal scheme问题
时间：10-02
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各位好，
TSMC工艺
请教 metal scheme: 1p5m_?x?z其中x z代表什么?在那个文档上边可以查出呢?
感谢指点
TSMC工艺
请教 metal scheme: 1p5m_?x?z其中x z代表什么?在那个文档上边可以查出呢?
感谢指点
x y z r u 表示不同的厚度，不同的厚度对应不同的min pitch以M1 为基准
x 1x
y 2x
z 8x
r 10x ?
u 12x ?
具体的多少倍记不清了，在design rule 里面有的
感谢
z是4x
看具体的design rule， x/y/z 厚度都不一样的，4楼的是65nm的