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芯片中 薄金属 或厚金属 的厚度 大致是 多少?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
芯片中 薄金属 或厚金属的厚度 大致是 多少?
各家工艺都 有不同。只是想问问一致 是多少

MOS芯片一般是4KA,IC芯片中我做过最厚的是2.5KA.

T 的工艺
x 0.8K ~ 1.2KA
y2x
r8x
z 12x
u 30KA 左右

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