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请教华虹0.13工艺问题

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
刚接触NEC.13um这个工艺,我想请教下,这个poly跟金属连的时候,是不是先poly跟lil这一层相连,在lil跟M1连,也就是要打licom跟Mcon这2个孔。是这样子吗?我测试将2个孔都打了,LVS可以过。但是自己不是很确定,有大虾用过指教下吗?

这个在design rule里面应该有描述的,如果找不到就找fab 沟通一下!

process 穩嗎?
有聽說不太穩
會low yield ..

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