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华虹NEC 130um 工艺求教

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
新接触华虹NEC 130um工艺,对里面的有些layer不清楚。如下:
tap、 li1、 licon1,不知道这些layer是起什么作用的?希望知道的人给予解答一下。不胜感激!

打错了
应是华虹NEC 130nm工艺

小编应该做了很多年了

我经常使用华虹的工艺,但没画过.13的工艺,我想tap应是用于做衬底的吧!

工艺文件有 一块复制发出来

一般都有design rule的,你进去看看里面一般都会有定义的。

打错了
应是华虹NEC 130nm工艺

连接M1与Aa,poly的一层

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