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华虹BCD350工艺问题

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
华虹BCD350工艺中的pl20管子跟p型隔离管剖面图一样,为什么前者高压环可以接高压,后者只能接低压?nl20和隔离n管一样?还有就是MARK层里面的ZERO不知道是干嘛用的,求诸位解惑

描述不够清楚截点图来,帮你看看。纵向图。

至少差了一层20VID这个吧,剖面图应该不一样的,有些东西需要逻辑运算的

看一下ldmos的管子有没有salicide block层,HHNEC好像是SB层,没有salicide的区域,能增加poly的电阻,提高耐压。

小编,小弟用华虹bcd350的工艺做led驱动,pcell中少了switch管的model,可否高抬贵手发一下你的BCD350_PCELL给我,在此感激不尽,我邮箱是zhoubt616@163.com

对这工艺没研究过,pcell怎么区别不懂。
不过关于ZERO的问题:
一般design是不可能用到这层的,这层完全是用来给fab做光刻对准标记用的,也就是只有划片槽中才有图形。因为如果第一层光罩是注入,那么后面的光刻没办法对准,所以第一层做一个ZERO,做上光刻标记供后续PR对准使用。
这层是不能出现在layout数据里面的,不然后续工艺会有问题。只有最终JDV会看到scribeline里面有一点点图形。

Xie Xie

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