弱弱的问一句：TSMC 的VIAEXCL layer 是什么？

没用过TSMC的工艺，你可以查F提供的文档啊，应该有介绍的。

如果我没记错，这种layer是不让via跑DFM

dummy via blockage ， 在40nm 下才有，
以前65nm的时候是DMEXCLU，即dummy metal exclusion area ，
40nm以下，连dummy via也要加了，因此需要一些dummy via exclusion layer，

4楼正解。

对LVS有影响吗?

我用的tsmc18rf, 是不是就不需要加这个layer?

一般來說dummy都是工具撒出来的，在你不想撒dummy的地方盖DMEXCLU或Dummy via，dummy via 是可以造成短路的，但是不同于一般的VIA，会有包金属，Dummy Via只是孔，没有金属，不过一般在相邻两层金属之间才会撒出来dummy via。一般不手动补Dummy via，就不太可可能影响LVS，除非在不同底层分别撒dummy，然后你又在底层Block上面走线。

ignore吧，。18um肯定不加dummy via的，不用画

说的很详细，谢谢你~

谢谢。