butted diffusion contact
时间:10-02
整理:3721RD
点击:
butted diffusion 可不可以只在一边打contact呢?
不可以。画一下剖面图就知道了。
但diffusion表面是有硅化的呀,那不是只要一边打了contact,另一边不也相当于连上了吗?
嗯,仔细思考小编的问题,我觉得我的之前的答案不对。如果工艺上有salicide,butting的diffusion可以直接被salicide短路,在这种情况下是可以只在一边打contact。
有高人解释一下吗?
噢偶偶