TSMC STI 神马？

各位： 在TSMC 025中，画Dummy PAD时，文档要求STI（Shallow Trench Isolation）,但本人不知这个STI是否是一个单独的Layer?
或怎么标识为Mask Layer? 这方面经验不足，请知道的童鞋指点，讨论。谢~

STI,即浅槽隔离，是MOS管之间隔离用的。一般不需要定义这层layer，design rule里的DIFFUSION之间的间距就指的是STI。我们用的TSMC与UMC的rule都没有这一层layer。

STI 只是工艺中的述语，画版图用不到，其实可以不管它的.当然知道是干什么的也是有好处的。

OD 之外的地方都是这东西