大家版图上的对图符号都设计成什么样
时间：10-02
整理：3721RD
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怎么样才能保证对准精度?
我的线条在几微米，但希望套准精度在1um以下
接触式报光，
什么样符号好呢
我的线条在几微米，但希望套准精度在1um以下
接触式报光，
什么样符号好呢
呃，是alignment mark，封装时用的吧?
另外还有是接触式曝光...
这个工艺有点老了，对准标记基本都画成7或者L这样的
我画过L mark