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请问TM、TM1、TM2和UTM这几种top metal的区别?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:

请问TM、TM1、TM2和UTM这几种top metal有什么不一样啊?为什么有的只用一层顶金、有的要用两层顶金?
还有是不是一般只有在RF工艺中画电感时才会用到utm?
求指导啊...

就是后道工艺不一样,不同薄厚和材质。
RF画电感用utm较多。但是我理解为了走大电流应该也可以用这个。

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