目前最先进的工艺的后段金属连线之间的介电常数
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比如,14/16nm的,28nm的,现在他们的后段介质的介电常数是多少,请问有人了解吗?最小做到多少了。
2.5
已经量产的还有更低的不?
那你得去问T家了