22nm工艺到底指的什么事22纳米

xx纳米技术节点中的xx纳米是指工艺中的最小特征尺寸，在逻辑CMOS中，一般是金属互连线中的最小线宽。而栅长一般情况下小于这个最小特征尺寸，是由于栅的hard mask（一般为氧化硅）会经历HF的腐蚀而减小其尺寸，所以栅长一般会小于工艺节点的特征尺寸。

哪家的工艺?
一般22nm指的就是物理栅长。但是你在版图上看到的PC长度不一定是22nm

最小特征尺寸通常都出现在工艺前端(FEOL)的那几层(PC,CA)，1x Metal以及后端(BEOL)的宽度一般都会比最小尺寸大一些
现代工艺节点的特征尺寸一般指的还是FEOL的最小尺寸，即物理栅长。金属互联的最小线宽并不会作为工艺节点的尺寸。

相邻两栅间距一般都有一个独立的指标，称作CPP (Contact Poly Pitch)，这个指标同样是一个节点的重要参数，决定了逻辑库单元的一个方向尺寸。与其垂直方向的尺寸则一般由1x Metal来决定。
栅长(准确的说物理栅长,有时称作Lpoly或者Lmetal)和CPP的关系对各家而言并没有固定的比例。多几纳米或者少几纳米都有可能。
栅长作为工艺标志已经越来越没有代表性，更趋向于某种商业宣传的定义。CPP和1x Metal的间距才是决定逻辑电路面积的主要指标。栅长更多地是决定器件的漏电和性能。