求问光刻刻蚀过程中的斑斑点点原因

本人新手，感觉论坛上高手比较多，特来问问额。
我光刻后图形表面很平整，但是刻蚀后图形表面出现了一个一个随机散布的小圆点，这是咋回事呀？
刻蚀气体为SF6，ICP刻蚀的额

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感觉像是由于ICP过程中的加温生成的气泡，可能片子带水气或者烘胶不够
在 cloud120121 (friend) 的大作中提到: 】
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: 我光刻后图形表面很平整，但是刻蚀后图形表面出现了一个一个随机散布的小圆点，这是咋回事呀？
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气泡？这怎么回事呢？气泡显微镜下看的是黑的吗？有点不敢相信额
片子应该不带水汽的额，烘胶烘的应该是干的吧。