请问stepper光刻2寸片子LTV和TTV都为5微米,可以到0.35微米精度
时间：12-12
整理：3721RD
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请问stepper光刻2寸片子，LTV和TTV都为5微米，最后可以达到0.35微米的精度吗？先谢了！
LTV也为5um？这个太大了吧，一般LTV应该比TTV小啊。
LTV这么大的话，跑出stepper的DOF范围了，分辨率就不行了。并不是说所有地方都不好，只是部分离焦的部分差。