请问什么是反向光刻技术?
时间:12-12
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DFM,OPC 概念。在光刻机成像系统和fabless给的版图一定的情况下,为达到wafer 上图形和fabless 版图尽量一致的目的,试图用解函数的方式,通过软件计算出矫正的版图。前年这个公司的北京办事处和rockship在一栋楼。
原来有个硅谷的startup公司做的,不知道现在被收购了没。
Intel也做过,发过这方面的paper。
清华微电子所也有人做。
这个东西就是计算复杂度高,如何实现全芯片高速数据处理是关键。
哦,非常感谢