CMOS工艺与MEMS兼容性，以及MEMS成本的问题

比如接收机前端SAW滤波器成本较高，论文中有利用RF MEMS实现高Q值的RF filter，可以代替片外SAW滤波器，并与CMOS芯片集成在一起。请问大神们，CMOS工艺上做MEMS的成本高不高？国内外哪些公司能做CMOS衬底兼容的MEMS?

忘记这个想法吧。
这样的项目没10M美刀做不到原型出来。
即使原型做出来，成本也受不了，还是一个死。

ＡＤＩ。
CMOS工艺上集成MEMS，成本确实不划算。