请问heavy etching是不是深刻蚀？
时间：12-12
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本人新手做光刻刻蚀实验，掩膜版明版线宽1微米，刻蚀硅深度100微米，求耐刻蚀光刻胶高选择比，高深宽比
光源对400nm的波长感光。这个怎么做呀