请教关于smic013um工艺中lvt管子的问题
时间:12-12
整理:3721RD
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各位大神,新手请教一个问题,如下:
我用smic0.13um工艺流的一个片子,里面用到了nlvt12管子,栅极接了2.3V控制电压,衬底接地。我在上电之前,用欧姆档测了一下栅极对地的电压很大,说明这个lvt管子本身没什么问题。但是上电之后(就是2.3V栅极电压)再断电,重新测一下栅极对地电阻,就变成了几百欧姆,这种情况应该是lvt的管子击穿了吧?我想问下击穿的原因是什么?
新手第二次流片,遇到这个问题崩溃了= =求大神答疑解惑...在线等~
我用smic0.13um工艺流的一个片子,里面用到了nlvt12管子,栅极接了2.3V控制电压,衬底接地。我在上电之前,用欧姆档测了一下栅极对地的电压很大,说明这个lvt管子本身没什么问题。但是上电之后(就是2.3V栅极电压)再断电,重新测一下栅极对地电阻,就变成了几百欧姆,这种情况应该是lvt的管子击穿了吧?我想问下击穿的原因是什么?
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这个当时是用n12管做了一个cascode结构的开关,下面一层nlvt12的开关管接的是高电位为1.2V的控制信号,为了版图方面画起来更方便,所以上面那一层也用了nlvt的管子,当时调的时候栅极就给了一个2.3V的固定电压
电路图画出来看看,上面的cascode应该用能承受2.3V的nmos..如果nlvt12不是全
隔离
手头没有pdk不知道具体管子的耐压范围,
具体坏的方法可能有很多...
PAD上有ESD保护的。我感觉PAD没有接错,但是出了这种情况,ESD保护的确很有可能出问题了。多谢提醒,我再从版图方面debug下
我用的是工艺厂商提供的PAD,看了下里面的MOS管全都是厚栅N管。另外我给ESD供电的电源是3.3V
你这样使用一定会有问题的,四端中任意两端压差不能大于1。2v
厚栅的管子保护你一个lvt1.2的管子,估计是保护不住
smic0.13um工艺也算相对成熟了,当时流片时出于保险起见用的也是标准PAD。我有两点疑惑,首先是判断能否保护住,有什么具体的依据吗?其次是,如果保护不住的话有什么解决的可行方法吗?了解到公司一般会在PAD与core中的栅之间加个电阻,这个是一种解决方法吗?多谢师兄赐教……
esd的电流肯定往薄弱点走,所谓PAD上的ESD保护电路其实都是牺牲自己保全core,希望电流从自己这里流走
esd用厚栅,相对于你的core来讲太结实了